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     主要零件材料

     阀体、阀盖、阀杆:铝合金、碳钢或不锈钢
     密封件:丁腈橡胶、氟橡胶、波纹管(轴封)。

主要性能指标

适用范围:
      1×10-6Pa~1.2×105Pa(波纹管密封)
      1×10-5Pa~1.2×105Pa(氟胶圈密封)
打开时阀板上的压差:
      ≤1.2×105 Pa任意方向
      阀体和阀座漏率:≤1.3×10-7Pa·L·s-1
      建议首次维修前循环次数: 200,000次
      阀体烘烤温度:≤150℃
安装位置
      -手动驱动:任意-气动驱动:任意
      -电磁驱动:任意(波纹管密封);密封面朝向真空(氟胶圈密封)
电源
      -气动驱动:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊规格可定做)
      -电磁驱动:交流220V或230V 50Hz,起动功率800W、保持功率8W
压缩空气(只适用于气动):0.4~0.7MPa
阀门开启和关闭时间

       -气动驱动:≤1s
       -电磁驱动:开启≤0.1s;
关闭≤1s(氟胶圈密封)、关闭≤0.5s(波纹管密封)
阀门位置指示
       -手动驱动:带有启闭位置指示
       -气动驱动:带有启闭位置指示开关(磁性开关)
       -电磁驱动:带有开启位置指示灯

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